STK-1150
半自动LED UV照射机
产品特点
物料规格：可支持6”~12” Frame、Wafer
UV单元：1套 LED UV 模组
UV波长：365 nm
UV 照射能量：50～500 mW/ cm2，照射能量实时监测，能量可程序调节。
UV 照射均匀性：<=±10 %
UV 照射时间: 0～999sec,程序可设定
扫描速度：0～100 mm /s, 程序可设定
灯箱温度：实时监控灯头和灯箱温度
UV 灯类型：LED型冷光源，能量强，寿命长，能耗低，发热量小
控制单元：PLC和触摸屏
上料/下料：手动
电源：单相 220V, 10A
气体：氮气可选配
设备外壳：白色喷涂外壳
设备尺寸：870mm(宽) x 1080mm(深) x 1170mm(高)
设备净重：约220kg